溶射にかわる 新製法セラミックスコーティング CASP（キャスプ）・アーク・HVOF・プラズマ溶射のリバストン工業（埼玉深谷市）

数マイクロ粒子を使用し、ナノ結晶粒子の堆積構造となっている皮膜です。皮膜強度が非常に高く、表面粗度も滑らかな形態となっております。

主に半導体製造装置に係る、フッ素ガス雰囲気中で効果をもたらすのではないかと想定しております。

TEM解析を行った結果、100nm以下の微粒子からなる多結晶組織の明視野・暗視野像とSAED。SAEDの解析結果からこれら微粒子は単斜晶のY2O3と確認されました。