溶射にかわる 新製法セラミックスコーティング CASP（キャスプ）・アーク・HVOF・プラズマ溶射のリバストン工業（埼玉深谷市）

現在、半導体製造業では、セラミックヒーターや静電チャック等のウェハ保持部品において、フッ素系腐食雰囲気中でプラズマを受け基材の劣化を招き、装置内に不純物が混入してしまう問題が起きている。

この問題を解決すべく、基材上へのＡｌＮ溶射の検討を行う。具体的には、ＡｌＮの特性である、耐プラズマ性・熱伝導性（放熱性）を皮膜として効果を持たせ、基材表面に吹くことにより部品の機能を向上させることを目的とする。